FELTON(费尔顿) FSE系列热式质量流量控制器

FSE系列热式质量流量控制器集成了压力传感器可实现压力波动不敏感，增加了压力异常报警及响应时间可调功能，保证稳定的流量控制，适用于半导体等对流量控制稳定性要求较高的行业。

• 类型：FSE系列
• 流量规格(N₂)：10sccm-50slm
• 阀类型：NC:常闭
• 阀关闭时流量：0.5%F.S.(典型值)
• 流量控制范围：1~100% F.S.