FELTON(费尔顿) TCP系列气体质量流量控制器

TCP 系列气体质量流量控制器，专为集成电路设计的高端产品，拥有更宽的流量比和设定精度。配置出色的低温漂特性，独特的 PID 控制算法以及非线性气体换算函数，可在全量程范围内实现快速的响应，控制精度亦达到最佳，最大程度降低流量过程控制的误差。

• 控制阀类型：常开、常闭
• 关闭时流量： <1% F.S.
• 流量测量范围：15-100% F.S.
• 流量控制范围：1~100% F.S.
• 流量精度：+0.2% F.S.(0≤20% F.S.)、+1% F.S.(0>20% F.S.)