·高温环境适应性,最高可到140℃℃;
·高精度和快速响应;
·多种气体兼容性,支持多达100种气体的校准,适应各种工艺气体的需求;
·耐腐蚀设计;
·提供数字化接口(如RS485或EtherCAT),便于与工艺设备集成
HCE系列高温质量流量控制器(MFC)是一款专为高温环境下气体流量精确控制设计的设备,广泛应用于半导体制造领域。
·高温环境适应性,最高可到140℃℃;
·高精度和快速响应;
·多种气体兼容性,支持多达100种气体的校准,适应各种工艺气体的需求;
·耐腐蚀设计;
·提供数字化接口(如RS485或EtherCAT),便于与工艺设备集成