质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量和控制
质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度和压力的变化影响。
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀和控制电路等部件组成，结构如上图所示。气体通过质量流量控制器（简称MFC）时，大部分气体通过层流元件，成比例的部分气体通过流量传感器。基于雷诺输送定理，采用恒温差方案的热式传感器将流量信号转化为电信号，以此为基准测量当前通过MFC的气体流量大小。微控制器比较设定信号与实际流量的差值，并驱动电陶瓷，实际动态的调整当前流量大小，已达到理想的设定值。质量流量控制器的流量控制范围2-100%F.S.
