【轻量、紧凑】
10.5mm宽的紧凑本体,多连使用时也可紧凑安装。
固定方法分为从侧面使用螺钉等固定的直接固定型,以及可安装在DIN导轨上的DIN导轨安装型。
【大幅缩短真空破坏时间】
3通阀规格采用3通规格真空供给用主阀,大幅缩短了从真空到大气压的所需时间(真空破坏时间)。
10.5mm宽的紧凑本体,多连使用时也可紧凑安装的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】
2通阀规格:3.5, 4.5 (㎟)
3通阀规格:3.0, 3.6 (㎟)
【轻量、紧凑】
10.5mm宽的紧凑本体,多连使用时也可紧凑安装。
固定方法分为从侧面使用螺钉等固定的直接固定型,以及可安装在DIN导轨上的DIN导轨安装型。
【大幅缩短真空破坏时间】
3通阀规格采用3通规格真空供给用主阀,大幅缩短了从真空到大气压的所需时间(真空破坏时间)。